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J-GLOBAL ID：200903020079172720

積層ポリエステルフィルム

Inventor：
遠藤 一夫

About 遠藤 一夫


Applicant, Patent owner：
ダイアホイルヘキスト株式会社

About ダイアホイルヘキスト株式会社


Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996048707
Publication number (International publication number)：1997239932
Application date： Mar. 06, 1996
Publication date： Sep. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 イオン性不純物の含有量が少なく、特に半導体装置製造時に用いる粘着テープの基材として適したフィルムを提供する。【解決手段】 ゲルマニウム元素を10〜200ppm、および平均粒径0.001〜5μmの不活性粒子を0.01〜2重量%含有し、かつ他の金属成分を実質的に含まない最外層を有する二軸延伸積層ポリエステルフィルムであって、最外層と全層との厚み比(最外層/全層)が0.01〜0.4であり、全フィルム厚みが25〜100μmであることを特徴とする積層ポリエステルフィルム。
Claim (excerpt)：
ゲルマニウム元素を10〜200ppm、および平均粒径0.001〜5μmの不活性粒子を0.01〜2重量%含有し、かつ他の金属成分を実質的に含まない最外層を有する二軸延伸積層ポリエステルフィルムであって、最外層と全層との厚み比(最外層/全層)が0.01〜0.4であり、全フィルム厚みが25〜100μmであることを特徴とする積層ポリエステルフィルム。
IPC (6)：
B32B 27/36 ,  B29C 55/12 ,  H01L 21/304 321 ,  B29K 67:00 ,  B29K105:16 ,  B29L 9:00
FI (3)：
B32B 27/36 ,  B29C 55/12 ,  H01L 21/304 321 H
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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