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J-GLOBAL ID：200903020092994810
イオン質量分離装置、イオン注入装置、及びイオン質量分離方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003307022
Publication number (International publication number)：2005078912
Application date： Aug. 29, 2003
Publication date： Mar. 24, 2005
Summary：
【課題】 輸送空間内の空間電荷を中和することによってイオンビームの輸送効率を向上させることができ、かつメンテナンスのコストを低減できるイオン質量分離装置、その装置を備えたイオン注入装置、及びイオン質量分離方法を提供すること。【解決手段】 イオン偏向ケーシング21の外部に、導体24を所定の間隔で螺旋状に巻くことにより所要長さに形成した空芯励磁電流路25と、イオン偏向ケーシング入口部22における導体24と重なる間隔位置に配置したイオン引出し電極27と、イオン引出し電極27に隣接したイオン発生装置40と、イオン偏向ケーシング出口部23に配置したイオン加速電極28と、イオン偏向ケーシング21内の上流側にのみ配置したフィラメント31とを備え、フィラメント31が、イオン偏向ケーシング21内に熱電子を供給する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
イオン偏向ケーシングの外部に、導体を所定の間隔で螺旋状に巻くことにより所要長さに形成した空芯励磁電流路と、イオン偏向ケーシング入口部における前記導体と重なる間隔位置に配置したイオン引出し電極と、前記イオン引出し電極に隣接したイオン発生装置と、イオン偏向ケーシング出口部に配置したイオン加速電極と、前記イオン偏向ケーシング内の上流側にのみ複数配置したフィラメントとを備え、前記フィラメントが、前記イオン偏向ケーシング内に熱電子を供給するイオン質量分離装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J37/317 Z
, H01L21/265 603B
