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J-GLOBAL ID：200903020275796065

膜厚測定装置及び方法

Inventor：
西田 和史

About 西田 和史


Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社

About 横河電機株式会社


Agent (6)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008041173
Publication number (International publication number)：2009198361
Application date： Feb. 22, 2008
Publication date： Sep. 03, 2009
Summary：
【課題】複屈折性を有する被測定対象の膜厚を安定して連続的に測定することができる膜厚測定装置及び方法を提供する。【解決手段】膜厚測定装置1は、被測定フィルムFに白色光を照射して得られる反射光を分光して反射分光スペクトルを測定するスペクトル測定部10と、測定された反射分光スペクトルに対して所定の演算を施して被測定フィルムFの膜厚を測定する演算部20とを備える。演算部20は、反射分光スペクトルのうち予め設定された波長帯域における反射分光スペクトルを所定の波数間隔に並べ直した波数域反射分光スペクトルに変換する波数変換部23と、波数域反射分光スペクトルをパワースペクトルに変換するフーリエ変換部24と、パワースペクトル中に現れるピークの重心位置を求め、この重心位置に基づいて被測定フィルムFの厚みを求める算出部(ピーク検出部25、加重平均部26、及び膜厚算出部27)とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
被測定対象に白色光を照射して得られる反射光又は透過光を分光して分光スペクトルを測定する測定部と、当該測定部で測定された分光スペクトルに対して所定の演算を施して前記被測定対象の膜厚を測定する演算部とを備える膜厚測定装置において、 前記演算部は、前記分光スペクトルのうち予め設定された波長帯域における分光スペクトルを所定の波数間隔に並べ直した波数域分光スペクトルに変換する第1変換部と、 前記第1変換部で変換された波数域分光スペクトルをパワースペクトルに変換する第2変換部と、 前記第2変換部で変換された前記パワースペクトル中に現れるピークの重心位置を求め、当該重心位置に基づいて前記被測定対象の厚みを求める算出部と を備えることを特徴とする膜厚測定装置。
IPC (1)：
G01B 11/06
FI (1)：
G01B11/06 G
F-Term (17)：
2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065DD04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL42 ,  2F065LL47 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
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Cited by examiner (12)
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