表面検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋浩三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000018949
Publication number (International publication number)：2001208697
Application date： Jan. 27, 2000
Publication date： Aug. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】被検査物の材質や表面状態に応じて反射光の偏光方向が種々変化した場合でも、最適な検出感度で異物検出を行うことができるようにする。【解決手段】投光系手段は、S偏光成分のレーザ光Isを被検査物11に照射する。被検査物11の表面からは楕円偏光の反射光が発生する。偏光板回転手段33は偏光板32を一定速度で回転させる。このときに受光系手段から出力される電気信号の値が最低値を示したときの回転位置がその被検査物11の表面検査時における偏光板32の回転位置として決定する。偏光板をその回転位置に位置決めして表面検査を行うことによって、被検査物11から反射する楕円偏光の反射光を有効に除去することが可能となり、異物からの散乱光を高精度に検出することができる。

Claim (excerpt)：

直線偏光された光ビームを被検査物に照射する投光系手段と、前記光ビームが前記被検査物に照射されることによって発生する前記被検査物や異物からの反射光や散乱光を受光して、前記反射光や散乱光に対応した電気信号を出力するように構成された受光系手段と、前記受光系手段の光軸上に設けられた偏光板と、前記受光系手段の光軸を中心軸として前記偏光板の偏光方向を回転させる偏光板回転手段と、前記受光系手段から出力される前記電気信号に基づいて前記被検査物からの反射光が前記偏光板によって除去されるような前記偏光板の回転位置を決定する回転位置決定手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/956 , G01N 21/88

FI (2)：

G01N 21/956 A , G01N 21/88 H

F-Term (12)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA11 , 2G051BC06 , 2G051BC07 , 2G051CA02 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CC20 , 2G051EA25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-040349
錠剤検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-072897 Applicant：株式会社ニコン
特開昭61-180128

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