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J-GLOBAL ID：200903055899183961

異物検査方法及び装置

Inventor： 下野 健 ,  長崎 達夫 ,  高本 健治 ,  伊藤 正弥 ,  西井 完治
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995166208
Publication number (International publication number)：1997015163
Application date： Jun. 30, 1995
Publication date： Jan. 17, 1997
Summary：

【要約】【目的】異物からの検出光の光強度を向上させて、異物とノイズとの弁別比を大にして、高精度の異物検出を行う。【構成】検査対象1の検査面1aに対してS偏光となるビーム13を前記検査対象1の検査面1aに対してほぼ平行な軸が光軸となるように照射し、検査面1aとのなす角αが鋭角で、かつ、前記ビームの光軸との差角φが30°以内となる光軸にて、前記ビームによって発生する反射光及び散乱光中の検査面1aに対してP偏光となる成分18を異物として検出することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

検査対象の検査面に対してS偏光となるビームを前記検査対象の検査面に対してほぼ平行、または小さな角でもって交わる軸が光軸となるように照射し、検査面とのなす角が鋭角で、かつ、前記ビームの光軸との差角が30°以内となる光軸にて、前記ビームによって発生する反射光及び散乱光中の検査面に対してP偏光となる成分を異物として検出することを特徴とする異物検査方法.

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H05K 3/00 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01N 21/88 F ,  G01B 11/30 C ,  H05K 3/00 Q ,  H01L 21/66 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-134254
  
• 表面欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-240464   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 特開平3-110454