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J-GLOBAL ID：200903020331911557
高エネルギーパルス抑制方法
グラント、キース
, About グラント、キース
ストーン、スティーブ
, About ストーン、スティーブ
ニルセン、ブラディ
About ニルセン、ブラディ
Applicant, Patent owner：
エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
About エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
Agent (2)： 松永 宣行 , 小合 宗一
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007543013
Publication number (International publication number)：2008521611
Application date： Apr. 13, 2005
Publication date： Jun. 26, 2008
Summary：
【課題】負荷制御音響光学変調器(AOM)に対する不規則な熱的負荷変動による、レーザビーム品質及び位置決め精度に歪みを引き起こすことなく、高繰り返しレートレーザパルス列から不規則に加工レーザパルスを捕獲する。【解決手段】レーザ(126)は、レーザ空洞放出動作を特徴付けることによって、かつエネルギー誤差を補償するためにダミーパルス期間を調節するためのその情報を利用することによって、工作物(120)を任意の期間でかつ実質的に一定のエネルギーレベルで供給されるレーザパルス(192)で処理する。ダミーパルス(194)は、工作物に到達することから遮断されるレーザパルスである。一定のパルスエネルギーを提供する第2の方法は工作物に送られるレーザエネルギー量を変動させるAOM(10)を使用する。一定のパルスエネルギーを提供する第3の方法は、ダミーパルスが開始されるときはいつでも、追加のレーザ空洞充電時間を許容するために選択パルスのパルス期間(200)を延長することを伴う。【選択図】図10
Claim (excerpt)：
レーザパルスを工作物に供給する方法であって、
第1のエネルギーレベルを有する1セットの第1のレーザパルスであって各々が第1の期間によって分離されている1セットの第1のレーザパルスを生成するためのレーザを発生すること、
第2のレーザパルス及び第3のレーザパルスを生成するための前記レーザを発生すること、
前記第2のレーザパルスが前記工作物に到達することを防止すること、
前記第1のレーザパルス及び前記第3のレーザパルスを前記工作物に伝搬できるようにすることを含み、
前記第3のレーザパルスは前記第1の期間より大きい第2の期間によって前記第1のレーザパルスから分離されており、前記第2のレーザパルスは、前記第3のレーザパルスが前記第1のエネルギーレベルと実質的に同一である第2のエネルギーレベルを持つようになる所定の時間に発生する、レーザパルスを工作物に供給する方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (4)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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米国特許第5,590,141号明細書
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米国特許第5,265,114号明細書
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米国特許第5,226,051号明細書
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