酸化亜鉛薄膜の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：丸島儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997242707
Publication number (International publication number)：1999080994
Application date： Sep. 08, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】導電性基板上に酸化亜鉛を、均一に、歩留りよく、長時間成膜可能な装置を提供すること。【解決手段】亜鉛イオン及び炭水化物を含有する水溶液中に導電性表面を有する基板及び対向電極を浸漬し、該基板及び対向電極間に電圧を印加することにより、該基板上に酸化亜鉛薄膜を形成する方法であって、該水溶液は複数の水溶液吹き出し口から噴出されることを特徴とする酸化亜鉛薄膜の製造方法とする。又、噴射する水溶液の方向、水量、温度、濃度を個別に制御する。

Claim (excerpt)：

亜鉛イオン及び炭水化物を含有する水溶液中に導電性表面を有する基板及び対向電極を浸漬し、該基板及び対向電極間に電圧を印加することにより該基板上に酸化亜鉛薄膜を形成する方法であって、該水溶液は複数の水溶液吹き出し口から噴出されることを特徴とする酸化亜鉛薄膜の製造方法。

IPC (2)：

C25D 9/04 , H01L 31/04

FI (2)：

C25D 9/04 , H01L 31/04 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

酸化亜鉛膜作製用電解液
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-023775 Applicant：大阪市, 奥野製薬工業株式会社
酸化亜鉛膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-067394 Applicant：大阪市, 奥野製薬工業株式会社
特許第3327811号

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