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J-GLOBAL ID:200903060571389558

酸化亜鉛膜の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 三枝 英二 (外5名) ,  三枝 英二 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995067394
Publication number (International publication number):1996260175
Application date: Mar. 27, 1995
Publication date: Oct. 08, 1996
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】大規模装置を必要とせず、大面積および複雑形状の基材上にも、膜厚および組成が均一で、光学的透明性と電気伝導性の両方に優れた酸化亜鉛膜を簡単に製造できる方法を提供する。【構成】(1)亜鉛イオン及び硝酸イオンを含有する水溶液中で、-0.5V〜-2.0V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位で予備電解した後、-0.2V〜-1.9V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位であって予備電解の電位より高い電位で電解する。(2)亜鉛イオン及び硝酸イオンを含有する水溶液に、アルミニウム塩、リチウム塩、インジウム塩及びボラン-アミンコンプレックスの少なくとも一種の化合物を添加してなる電解液中で、電解を行なう。
Claim (excerpt):
亜鉛イオン及び硝酸イオンを含有する水溶液中で、-0.5V〜-2.0V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位で予備電解した後、-0.2V〜-1.9V(Ag/AgCl電極基準)の範囲の陰極電位であって予備電解の電位より高い電位で電解することを特徴とする酸化亜鉛膜の製造方法。
IPC (3):
C25B 1/00 ,  C23C 28/04 ,  C25D 9/08
FI (3):
C25B 1/00 A ,  C23C 28/04 ,  C25D 9/08

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