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J-GLOBAL ID：200903020446059854
ガス電子増幅器、その製造方法及びガス電子増幅器を使用した放射線検出器
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
特許業務法人はるか国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005126980
Publication number (International publication number)：2006302844
Application date： Apr. 25, 2005
Publication date： Nov. 02, 2006
Summary：
【課題】 長時間動作を継続しても安定して動作するガス電子増幅器、その製造方法及びガス電子増幅器を使用した放射線検出器を提供する。【解決手段】 ドリフト電極100と捕集電極102との間には、板状多層体10が配置されており、この板状多層体10は、電子なだれ効果により電子増幅を行うガス電子増幅器として機能し、樹脂製の板状絶縁層12とこの板状絶縁層12の両面に被覆された平面状の金属層14、16とで構成されている。また、板状多層体10には、金属層14、16の平面に垂直な壁を有し、電界を集束させるための貫通孔構造18が複数形成されている。また、これらの構成要素を収容するチャンバ104内には、所定の検出用ガスが充填されている。チャンバ104内に侵入した電子は、貫通孔構造18において増幅され、捕集電極102で検出されて検出信号を検出部22が受け取る。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
検出用ガスが充填されたチャンバと、
前記チャンバに収容され、樹脂製の板状絶縁層とこの板状絶縁層の両面に被覆された平面状の金属層とにより構成された板状多層体と、
前記板状多層体に設けられ、前記金属層の平面に垂直な内壁を有する貫通孔構造と、
を備えることを特徴とするガス電子増幅器。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (6)：
2G088GG02
, 2G088JJ09
, 2G088JJ31
, 2G088JJ37
, 5C038DD01
, 5C038DD15
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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