Pat
J-GLOBAL ID：200903020801223539

超純水中の微粒子捕捉用濾過膜の洗浄方法

Inventor：
亀谷 真理

About 亀谷 真理

, 
小堀 大二郎

About 小堀 大二郎

, 
梅香 明子

About 梅香 明子


Applicant, Patent owner：
オルガノ株式会社

About オルガノ株式会社


Agent (1)： 畑中 芳実 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998220138
Publication number (International publication number)：1999165049
Application date： Aug. 04, 1998
Publication date： Jun. 22, 1999
Summary：
【要約】【課題】 超純水中に含まれる微粒子数を測定する際に使用される微粒子捕捉用濾過膜に付着している汚染微粒子を効果的に除去することができ、したがって微粒子捕捉時における濾過膜への超純水の通水量の低減、濾過時間の短縮を図ることができる洗浄方法を提供する。【解決手段】 濾過膜の洗浄水として超純水に水素ガスを溶解してなる水素溶解水を用いる。さらに好ましくは、?@洗浄水への超音波照射、?A洗浄水の加温、?B洗浄水の加温及び洗浄水への超音波照射、?C洗浄水のpH調整、?D洗浄水のpH調整及び洗浄水への超音波照射、?E洗浄水のpH調整及び加温、又は、?F洗浄水のpH調整及び加温並びに洗浄水への超音波照射を行う。これらの場合、洗浄水への超音波照射では波長0.8〜3MHzの超音波を用いることが好ましい。また、洗浄水の加温では洗浄水を30〜100°Cに加温し、洗浄水のpH調整ではpHをアルカリ側にする。
Claim (excerpt)：
超純水に水素ガスを溶解してなる水素溶解水により超純水中の微粒子捕捉用濾過膜を洗浄することを特徴とする超純水中の微粒子捕捉用濾過膜の洗浄方法。
IPC (3)：
B01D 65/06 ,  B01D 65/02 510 ,  C02F 1/44
FI (3)：
B01D 65/06 ,  B01D 65/02 510 ,  C02F 1/44 J
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM