記録方法、その記録単位の消去又は変形方法、及び記録媒体

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：逢坂宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994017032
Publication number (International publication number)：1995141706
Application date： Jan. 17, 1994
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：

【要約】【構成】本発明は、走査トンネル顕微鏡(STM)を使用し、X方向走査回路25、Y方向走査回路26及びZ方向駆動・サーボ回路27によってピエゾ素子23の変形を制御し、ピエゾ素子23に取付けられた探針(STMの探針)10によって薄膜11に微細記録処理を施す。この記録は、探針10と薄膜11との間に電圧を印加し、電界蒸発によって形成される微小凹部又は微小凸部によってなされる。また、電界蒸発により、一旦形成された微小凹部又は微小凸部の一部又は全部を消失したり、変形したりすることも可能である。【効果】 STMの探針によって所望のパターンで原子オーダーの微細な記録を二次元、三次元で行える。その結果、約1010ビット/cm2 オーダー以上の(特に1012ビット/cm2 オーダー以上の)超高密度記録がなされ、著しく大容量の記録媒体が得られ、小型化も可能である。

Claim (excerpt)：

被記録体に対向して走査トンネル顕微鏡の探針を配置し、この探針と前記被記録体との間に電圧を印加して電界蒸発を起こさせ、この電界蒸発によって前記被記録体に記録パターンを形成する記録方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-241238
特開平4-241240
特開平1-302556

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