Pat

J-GLOBAL ID：200903020999126649

透明導電膜

Inventor： 大野 俊之 ,  茶原 健一 ,  小園 裕三
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993058358
Publication number (International publication number)：1994275130
Application date： Mar. 18, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【構成】透明導電膜は、特定の結晶面が基板表面に対して優先的に配向していることを特徴とする。【効果】200°C以下で通常では十分な移動度を得られない条件下でも、結晶粒界におけるキャリアの散乱低減の効果により、1×10-4Ωcmの比抵抗を示す透明導電膜を、可視光域での透過率を損なわずに形成することができる。

Claim (excerpt)：

1種類以上のカチオン及び酸素から成り、基板上に結晶性を有して形成され、可視域の光に対する80%以上の透過率と導電性を有する薄膜において、特定の結晶面が前記基板の表面に対して優先的に配向していることを特徴とする透明導電膜。

IPC (5)：

H01B 5/14 ,  C03C 17/245 ,  C04B 41/88 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1343

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 弾球遊技機
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-197746   Applicant：株式会社三共
• パチンコ機の入賞球装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-263295   Applicant：豊丸産業株式会社