Pat
J-GLOBAL ID：200903021072926415

X線分析装置及びX線分析方法

Inventor：
辻 幸一

About 辻 幸一

, 
松田 晃典

About 松田 晃典

, 
堤本 薫

About 堤本 薫


Applicant, Patent owner：
独立行政法人科学技術振興機構

About 独立行政法人科学技術振興機構


Agent (1)： 野口 繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007182827
Publication number (International publication number)：2008039772
Application date： Jul. 12, 2007
Publication date： Feb. 21, 2008
Summary：
【課題】試料内部の微小空間における元素分析を非破壊的に行なえるようにする。【解決手段】励起用X線を発生させる一次X線源1は、X線照射機構によってX線検出用導管5と接続されている。X線検出用導管5の基端部にはX線検出器9が結合され、試料7から放出された蛍光X線が先端部の開口から内部通路4を通ってX線検出器9に導かれるようになっている。X線検出用導管5内には、X線入射用導管2aを介して入射した一次X線ビームを受けて二次X線ビームを発生し、X線検出用導管5の先端部を経て試料に照射するための二次ターゲット3が備えられている。二次ターゲット3はX線検出用導管5の内側、かつその導管5内の内部通路4の外周にリング状に備えられており、先端部が傾斜面となっているため、二次X線ビームを効率よく試料方向に照射することができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
X線ビームを先端から試料に照射するX線照射機構と、 試料から放出された蛍光X線を検出するX線検出器と、 基端部に前記X線検出器を備え、試料に対して前記X線照射機構と同じ側に配置され、先端から入射した蛍光X線を内部通路を通って前記X線検出器に導くX線検出用導管と、を備え、 前記X線照射機構の先端部と前記X線検出用導管の先端部は試料に前記X線ビームを照射し、試料からの蛍光X線が入射するように一つに合体されているX線分析装置。
IPC (1)：
G01N 23/223
FI (1)：
G01N23/223
F-Term (8)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001GA08 ,  2G001JA01 ,  2G001KA01 ,  2G001MA02 ,  2G001SA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM