磁場制御による走査プローブ顕微鏡

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (2)：工業技術院機械技術研究所長 (外1名) , 川井治男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995344903
Publication number (International publication number)：1997159682
Application date： Dec. 06, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】探針-試料間に作用する力をコントロールし、非接触の状態を保つことのできる走査プローブ顕微鏡を得ること。【解決手段】試料6-探針8先端間の力を任意の値に制御するための磁場制御装置5を位置制御機構3内に設置する。

Claim (excerpt)：

磁性部材を有する探針付きカンチレバーと、試料の位置を制御するための位置制御機構と、前記カンチレバーの撓み量を計測するための微小変位計測機構と、及び前記磁性部材と前記試料との間の力を制御する磁場制御装置を有することを特徴とする磁場制御による走査プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 F , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

走査型プローブ顕微鏡および原子種同定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-059863 Applicant：松下電器産業株式会社

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