液晶表示装置及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993316287
Publication number (International publication number)：1995169967
Application date： Dec. 16, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】液晶表示装置のアンダーコート膜はガラス基板と以降のプロセスで形成されるトランジスタ層との層間にあって、ガラス基板からトランジスタへの汚染防止膜として多く一般に用いられている。また、液晶表示装置のゲート・ソース引出し電極がAlあるいはAlの合金膜で直接的に引き出されると、高温高湿試験においてAlが腐食しやすいという問題点があった。【構成】ゲート電極およびソース電極が直接外部に引き出されてなる本発明の液晶表示装置は、ゲート電極となる金属膜とソース・ドレイン電極となる金属膜がTiとAlの積層膜で構成され、ゲート電極をガラス基板上に直接形成する構成とする。

Claim (excerpt)：

薄膜トランジスタアレイを形成する液晶表示装置において、薄膜トランジスタのゲート電極及びソース電極の信号入力用外部引出し電極の構成が直接外部へ引き出されて成り、前記ゲート電極及びソース電極の電極構成がTiとAlの積層膜で構成されて成ることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 500

FI (3)：

H01L 29/78 311 G , H01L 29/78 311 S , H01L 29/78 311 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭62-131578
特開平1-120068
特開平4-198923

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