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J-GLOBAL ID：200903021465772533

位置決め用マークの検出方法および位置合わせ方法

Inventor：
三宅 栄一

About 三宅 栄一


Applicant, Patent owner：
サンエー技研株式会社

About サンエー技研株式会社


Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998268677
Publication number (International publication number)：2000097674
Application date： Sep. 22, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：
【要約】【課題】 カラーCCDカメラの最適の一色の出力信号のみのデータ処理により、位置決め用マークを正確に検出し、精度の高い位置合わせを行わせる。【解決手段】 第1および第2の平板上にそれぞれ円形の第1および第2の位置合わせマーク3、4を設ける。第1の位置合わせマーク3は、透明材料でできた第1の平板上の非透光性領域6に囲まれた透光性領域とする。第1および第2の平板を、互いに接触または接近させて位置づける。互いに重なった第1および第2の位置合わせマーク3,4を、カラーCCDカメラを用いて第1の位置合わせマーク3の側からそれぞれ読み取る。第1および第2の位置合わせマーク3,4に関する出力信号と第2の位置合わせマーク4の周囲の領域に関する出力信号との大きさの差Gを、カラーCCDカメラの各色の出力信号ごとに算出する。この差Gが最大となる色を選択する。選択された色に関する出力信号のみを用いて第1および第2の位置合わせマーク3,4の読み取りデータの処理を行う。
Claim (excerpt)：
平板上に形成された位置決め用マークを検出する方法において、前記位置決め用マークを円形マークとし、該円形マークの読み取りにカラーCCDカメラを使用し、前記位置決め用マークに関する出力信号と該位置決め用マークの周囲の領域に関する出力信号との大きさの差を、前記カラーCCDカメラの各色の出力信号ごとに算出し、この差が最大となる色を選択し、該選択された色に関する出力信号のみを用いて前記位置決め用マークの読み取りデータの処理を行うことを特徴とする、位置決め用マークの検出方法。
IPC (3)：
G01B 11/24 ,  G03F 9/00 ,  G06T 7/00
FI (4)：
G01B 11/24 K ,  G03F 9/00 Z ,  G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/70 330 P
F-Term (24)：
2F065AA03 ,  2F065BB28 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL26 ,  2F065LL46 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA13 ,  2H097KA15 ,  2H097KA20 ,  2H097LA09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA12 ,  5B057DA07 ,  5B057DB06 ,  5B057DC02 ,  5L096AA02 ,  5L096CA14 ,  5L096FA69 ,  5L096GA40 ,  5L096JA09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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