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J-GLOBAL ID：200903021511937356

走査形プローブ顕微鏡

Inventor：
中本圭一

About 中本圭一


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Agent (1)： 青木 健二 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996272141
Publication number (International publication number)：1998115624
Application date： Oct. 15, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：
【要約】【目的】試料のレプリカを必要としないとともに真空度の劣化および試料表面への霜の付着をともに防止でき、しかも凍結割断した試料を直接観察する。【構成】試料ホルダ23上に載置された生体試料5が急速凍結された後、試料ホルダ23が試料台6に取り付けられ、試料台6がトランスファーロッド11に取り付けられる。このロッド11がロードロック機構13内に挿入され、かつロードロック機構13を介して真空排気が行われた後、ロッド11を操作して、試料台6がかんな台7aに装着される。試料台6がX軸方向に移動されて、生体試料5の表面がカッター刃21により割断される。試料台6およびカッター刃21がそれぞれヒートコンダクタ17,22によって冷却され、しかも真空度が劣化しないので、生体試料5の割断表面に霜が付着することはない。その後、従来の同様に生体試料5の割断表面のAFM観察が行われる。
Claim (excerpt)：
観察用試料ステージによって移動されるスキャナに試料が載置され、この試料に対向して配置される探針を有するカンチレバーに、光源から放出される光線を照射するとともに、前記カンチレバーにおいて反射した前記光線の反射光をフォトディテクタによって受光させながら前記スキャナを走査することにより、前記試料の観察を行うようになっている走査形プローブ顕微鏡において、装置本体のハウジング内を真空排気可能とするとともに、前記ハウジング内の真空を保持した状態で前記スキャナ上に前記試料を交換可能にする試料導入機構と、前記ハウジング内で前記観察用試料ステージの近傍に設置され、前記試料を割断する割断手段と、前記装置本体に設けられ、前記ハウジング内の真空を保持した状態で前記割断手段および前記試料を冷却する冷却手段と、前記ハウジング内に設けられ、前記試料を前記割断手段によって割断するために前記試料を移動させる割断用ステージとを備えていることを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/28
FI (4)：
G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 1/28 G ,  G01N 1/28 J
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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