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J-GLOBAL ID：200903021521351430

基板処理装置

Inventor：
濱田 哲也

About 濱田 哲也


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (3)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003009958
Publication number (International publication number)：2004221488
Application date： Jan. 17, 2003
Publication date： Aug. 05, 2004
Summary：
【課題】複数の処理ユニットに対する複数の搬送ロボットによる高い自由度の基板搬送を実現する。【解決手段】主搬送制御MTは処理ブロックPM1,PM2,PM3全体を1つの仮想的な処理ブロックとみなし、その仮想処理ブロックに備わった1台の仮想的な搬送ロボットである仮想搬送ロボットVRに対して、仮想処理ブロックにおいて搬送動作を行うよう指令を出す。副搬送制御STはその指令をもとに、搬送ロボットTR1,TR2,TR3それぞれを個別に制御して、上記指令に係る基板搬送を実際に実行する。その際、副搬送制御STは、いずれかの搬送ロボットが基板を保持しているときには、他の搬送ロボットによる基板保持を禁止するように制御する。基板搬送中に搬送ロボット相互の干渉がなくなるため、複数の搬送ロボットを使用した複数の処理ユニットに対する搬送フローを自由に設定できる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板に処理を行う複数の処理ユニットおよびそれら複数の処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットをそれぞれが有する複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックに対して未処理の基板を払い出すとともに前記複数の処理ブロックから処理済基板を受け取るインデクサ部と、前記複数の処理ブロックのうちの隣り合う2つの処理ブロックの間で基板の授受を行うインターフェイス部と、を備える基板処理装置であって、 前記複数の処理ブロックのうちのいずれかに設けられた搬送ロボットが基板を保持しているときには、他の処理ブロックに設けられた搬送ロボットによる基板保持を禁止するように、前記複数の処理ブロックのそれぞれに設けられた搬送ロボットを制御する搬送制御手段を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3)：
H01L21/68 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027
FI (3)：
H01L21/68 A ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/30 562
F-Term (35)：
5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA58 ,  5F031HA13 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031NA07 ,  5F031PA03 ,  5F031PA04 ,  5F031PA08 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046DA29 ,  5F046JA04 ,  5F046JA22 ,  5F046KA01 ,  5F046LA01 ,  5F046LA18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 特開平4-305914
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-337053   Applicant：東京エレクトロン株式会社
  • 特開平4-003955
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