Pat
J-GLOBAL ID：200903021556257313
レーザ装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
矢葺 知之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997229468
Publication number (International publication number)：1999068218
Application date： Aug. 26, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 発振光軸のずれを自動的に防ぐことができるレーザ装置を提供する。【解決手段】 レーザビーム照射位置が調整可能なように、光共振器12の全反射平面鏡14が保持されたレーザ装置において、前記全反射平面鏡を傾斜可能に保持する全反射鏡保持装置21と、レーザ発振器の出射側でレーザビームLBの形状を維持した状態でレーザビームLBの一部を発振光軸からそらすビームスプリッタ41と、発振光軸からそらされたレーザビームSBを検出するレーザ光検出器51と、検出ビームに基づいて発振光軸位置を求め、発振光軸をあらかじめ設定した許容範囲内に位置させる制御信号を求め、制御信号を前記全反射鏡保持装置21に出力する制御装置61とを備えている。
Claim (excerpt)：
レーザビーム照射位置が調整可能なように、光共振器の全反射鏡が保持されたレーザ装置において、前記全反射鏡を移動または傾斜可能に保持する全反射鏡保持装置と、レーザ発振器の出射側でレーザビームの形状を維持した状態でレーザビームの一部を発振光軸からそらすビームスプリッタと、発振光軸からそらされたレーザビームを検出するレーザ光検出器と、検出ビームに基づいて発振光軸位置を求め、発振光軸をあらかじめ設定した許容範囲内に位置させる制御信号を求め、制御信号を前記全反射鏡保持装置に出力する制御装置とを備えていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (3)：
H01S 3/139
, H01S 3/121
, H01S 3/134
H01S 3/139
, H01S 3/121
, H01S 3/134
Cited by examiner (5)
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