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J-GLOBAL ID：200903021745350022

軟磁性膜及びこれを用いた磁気ヘッド

Inventor：
庄子 光治

About 庄子 光治

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大森 広之

About 大森 広之

, 
香取 健二

About 香取 健二

, 
林 和彦

About 林 和彦


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993159227
Publication number (International publication number)：1995022237
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 高温熱処理後の軟磁気特性に優れ、しかも十分な付着強度を有する軟磁性膜を提供し、これにより優れた記録特性を有し高い信頼性を有する磁気ヘッドを提供する。【構成】 Fe-Ru-Ga-Si-O-N-C合金からなる軟磁性薄膜11を、Ta、Nb、Ti、Al、Cr、Mo、W、Pt、Au、Pd、Ag、Vの中から選ばれる1種以上の金属層、若しくはAl、Si、Ta、Zr、Nb、Bの中から選ばれる1種以上の金属の窒化物からなる層を下地層2として成膜する。あるいは、Fe-Ru-Ga-Si-O-N-C合金からなる軟磁性薄膜11を、Ta、Nb、Ti、Al、Cr、Mo、W、Pt、Au、Pd、Ag、Vの中から選ばれる1種以上の金属薄膜層を介して中間絶縁層と積層する。
Claim (excerpt)：
(Fea Rub Gac Sid )x Oy Nz Cw 〔ただし、a、b、c、d、x、y、z、wは各元素の割合(原子%)を表す。〕なる組成式で表され、その組成範囲が68≦a≦900.1≦b≦100.1≦c≦1510≦d≦2580≦x≦1000≦y≦200≦z≦200≦w≦20a+b+c+d=100x+y+z+w=100である軟磁性薄膜を主体とし、該軟磁性薄膜が、Ta、Nb、Zr、Ti、Al、Cr、Mo、W、Pt、Au、Pd、Ag、Vの中から選ばれる1種以上の金属からなる層、若しくはAl、Si、Ta、Zr、Nb、Bの中から選ばれる1種以上の金属の窒化物からなる層を下地層として成膜されるか、Ta、Nb、Zr、Ti、Al、Cr、Mo、W、Pt、Au、Pd、Ag、Vの中から選ばれる1種以上の金属からなる金属薄膜層を介して中間絶縁層と積層されていることを特徴とする軟磁性薄膜。
IPC (6)：
H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C23C 14/06 ,  G11B 5/147 ,  G11B 5/31 ,  H01F 41/18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (25)
  • 軟磁性薄膜
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-229761   Applicant：ソニー株式会社
  • 特開昭64-008604
  • 特開平1-276607
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