ノズル待機装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小笠原史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995312513
Publication number (International publication number)：1997152717
Application date： Nov. 30, 1995
Publication date： Jun. 10, 1997
Summary：

【要約】【課題】液滴の除去効果に優れ、しかも現像液の劣化を生じることなく、ノズルの洗浄が行える、ノズル待機装置を提供することである。【解決手段】ノズルポット801は、現像処理の終了した現像液吐出ノズル601を収納する。洗浄ノズル802は、ノズルポット801内の現像液吐出ノズル801の外周面に対して洗浄液を吐出することにより、現像液吐出ノズル801の外周面に付着した汚れを洗浄する。また、ノズルポット801内には、配管805を介して窒素ガスが供給される。さらに、ノズルポット801の底部に設けられたドレイン管801aを介して、外部の吸引装置によりノズルポット内の気体が吸引される。これによって、ノズルポット801内で気体流が形成され、当該気体流の流圧によって現像液吐出ノズル601の外周面に付着した液滴が吸引除去される。

Claim (excerpt)：

基板に対して現像液の吐出が終了した現像液吐出ノズルを、基板外で待機させるための装置であって、前記現像液吐出ノズルを個別的に収納するノズルポットと、前記ノズルポットの底部に設けられるドレイン管と、前記ノズルポット内に所定の気体を供給する気体供給手段と、前記ドレイン管を介して前記ノズルポット内の流体を吸引する吸引手段とを備え、前記気体供給手段による気体供給と前記吸引手段による吸引とによって前記ノズルポット内で気体流を形成し、当該気体流の流圧によって前記現像液吐出ノズル外周面に付着した液滴を除去することを特徴とする、ノズル待機装置。

IPC (4)：

G03F 7/30 501 , G03F 7/38 , H01L 21/027 , B08B 3/02

FI (4)：

G03F 7/30 501 , G03F 7/38 , B08B 3/02 Z , H01L 21/30 569 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-018372 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東芝

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