レーザ装置、露光ヘッド、及び露光装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (4)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002149888
Publication number (International publication number)：2004006440
Application date： May. 23, 2002
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：

【課題】高輝度レーザ光源を提供する。また、深い焦点深度を得ることができる露光ヘッド及び露光装置を提供する。【解決手段】バンドル状ファイバ光源66の光ファイバを、コア径が均一で出射端のクラッド径が入射端のクラッド径より小さい光ファイバとして、その発光領域を小さくする。この高輝度化されたバンドル状ファイバ光源66から、レンズ系77を通過してDMD50へ入射する光束の角度が小さくなり、走査面56へ入射する光束の角度が小さくなる。即ち、焦点深度が深くなる。【選択図】図15

Claim (excerpt)：

光ファイバの入射端から入射されたレーザ光をその出射端から出射するファイバ光源を備えたレーザ装置であって、前記光ファイバとして、コア径が均一で出射端のクラッド径が入射端のクラッド径より小さい光ファイバを用いたレーザ装置。

IPC (11)：

H01L21/027 , B41J2/445 , G02B6/06 , G02B6/10 , G02B6/42 , G02B19/00 , G02B27/18 , G03F7/20 , H01S5/022 , H01S5/22 , H01S5/323

FI (13)：

H01L21/30 529 , G02B6/06 B , G02B6/10 D , G02B6/42 , G02B19/00 , G02B27/18 Z , G03F7/20 505 , G03F7/20 521 , H01S5/022 , H01S5/22 610 , H01S5/323 610 , H01L21/30 515B , B41J3/21 V

F-Term (40)：

2C162AE28 , 2C162AE47 , 2C162AF06 , 2C162FA05 , 2C162FA18 , 2C162FA44 , 2C162FA48 , 2C162FA50 , 2C162FA70 , 2H037AA03 , 2H037BA03 , 2H037BA04 , 2H037CA06 , 2H037DA03 , 2H037DA04 , 2H037DA05 , 2H037DA06 , 2H046AA05 , 2H046AA32 , 2H046AA42 , 2H046AD05 , 2H050AC83 , 2H050AC87 , 2H050AC90 , 2H052BA02 , 2H052BA03 , 2H052BA07 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 2H097AA03 , 2H097CA17 , 2H097LA10 , 5F046CA03 , 5F073AB04 , 5F073AB27 , 5F073AB28 , 5F073BA07 , 5F073CA07 , 5F073FA07 , 5F073FA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特表平3-501900
特開平4-078179
半導体レーザ発光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-099512 Applicant：松下電器産業株式会社

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