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J-GLOBAL ID：200903022058917957
インクジェットプリンタヘッド
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高野 明近
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998155522
Publication number (International publication number)：1999348277
Application date： Jun. 04, 1998
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：
【要約】【課題】 インクジェットプリンタヘッドにおいて、基板のSi材料と鉛系圧電材料の反応を防止して、良好な圧電特性を得る。【解決手段】 単結晶Si基体1上に中間層2,下部電極層3,4,圧電体6,上部電極(層)7が積層されている圧電アクチュエータの下部電極を、Ir,酸化Ir,及びこの積層体のうちの1つを有するようにし、かつ、さらにその上層にPt,及び/またはPt-Rh合金膜を堆積して形成する。
Claim (excerpt)：
基体上に形成される圧電アクチュエータの下部電極であって、少なくとも下部電極層がIr,酸化Ir,及びこの積層体のうちの1つを有し、さらにその上層にPt,及び/またはPt-Rh合金膜が堆積されていることを特徴とする圧電アクチュエータ用下部電極。
IPC (3)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
