圧電体素子を備えたアクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド、並びにこれらの製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲葉良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997302792
Publication number (International publication number)：1998211701
Application date： Nov. 05, 1997
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】層間絶縁膜やパッシベーション膜等の密着性を向上し、信頼性の高い圧電体素子を備えたアクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド、並びにその製造方法を提供する。また、パッシベーション膜膜を配線形成用膜に利用し、製造工程の簡略化及びコストの削減を図る。【解決手段】シリコン基板10上にシリコン酸化膜12を介して、インクキャビティ11毎に独立形成された下電極13を形成し、この上にPZT膜14及び上電極15を形成した後、この上に層間絶縁膜50又はパッシベーション膜30を形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に絶縁膜を介して形成された下電極と、当該下電極上に形成された圧電体膜と、当該圧電体膜上に形成された上電極と、前記下電極、圧電体膜及び上電極を覆う層間絶縁膜と、を備え、前記下電極はセグメント毎に独立してなり、当該セグメント間に形成されている前記絶縁膜が、前記層間絶縁膜に直接接触されてなる圧電体素子を備えたアクチュエータ。

IPC (5)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09 , H01L 41/22

FI (4)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 L , H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

液体噴射ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-214600 Applicant：セイコーエプソン株式会社
インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-175376 Applicant：ローム株式会社
インクジェット記録ヘッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-142367 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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