表面検査装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998375029
Publication number (International publication number)：2000162146
Application date： Nov. 24, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】板、条およびディスク基板等の被検査対象物の表面に存在する傷を、その種類に関わらず確実に認識できる画像を撮像できるとともに、ディスク基板を停止させることなく検査することが可能な検査装置、およびアルミディスクのヘヤライン方向にかかわらず、傷の有無を判定することができる表面検査システムを提供する。【解決手段】被検査対象物の表面を照明手段により照明し、前記表面からの反射光を撮像手段で撮像し、その撮像手段から出力される画像を画像処理装置で演算処理して前記表面の欠陥を検査する表面検査装置において、前記照明手段として異なる投射方向から照明する複数の光源を設け、これらの光源を切り換えながら点灯して1台のラインセンサカメラでもって複数の異なる画像を形成し、これらを画像処理することによって被検査対象物の表面の検査を行う。

Claim (excerpt)：

被検査対象物の表面を照明手段により照明し、前記表面からの反射光を撮像手段で撮像し、該撮像手段から出力される画像を画像処理装置で演算処理して前記表面欠陥を検査する表面検査装置であって、前記照明手段として異なる位置から投射する複数の光源を設け、前記撮像手段として1台のラインセンサカメラを設けるとともに、前記ラインセンサカメラのスキャンごとに前記複数の光源を切り換えることにより1台のラインセンサカメラで複数の異なる画像を得ることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G01N 21/84

FI (3)：

G01N 21/88 630 A , G01N 21/88 J , G01N 21/84 E

F-Term (13)：

2G051AA71 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BB05 , 2G051BB20 , 2G051BC01 , 2G051CA03 , 2G051CA06 , 2G051CA07 , 2G051DA06 , 2G051EB01 , 2G051EC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

特開昭62-042039
特開平2-082141
カラー画像撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-120238 Applicant：株式会社東芝