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J-GLOBAL ID:200903022123323199

電流検出型熱電対等の校正方法、電流検出型熱電対、赤外線センサおよび赤外線検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006300301
Publication number (International publication number):2008107307
Application date: Nov. 06, 2006
Publication date: May. 08, 2008
Summary:
【課題】カンチレバやダイアフラム上に温接点や冷接点が形成されても、容易に精密な温度校正や補正ができるような電流検出型熱電対等の校正方法、関連する電流検出型熱電対と熱型赤外線センサ及び赤外線検出装置を提供する。【解決手段】熱電対の校正は、検出用熱電対と同一の熱電対材料で形成した校正用熱電対を用い、校正用熱電対の絶対熱電能Eroを求めておく。検出用熱電対も同一のEroを有すると見做す。検出用熱電対の内部抵抗rsを求め、演算増幅器で被測定温度差△Tsによる短絡電流値Isを計測して被測定温度差△Tsを求める。演算増幅器のオフセット校正も行う。熱電対とスイッチを演算増幅器の反転入力端子に接続し、センサの選択も可能とする。また、これらを非反転入力端子に接続し、小さな抵抗rを反転入力端子に接続した等価的な電流検出型熱電対を用い、複数の熱電対を切り替え可能にする。【選択図】図1
Claim (excerpt):
一対の熱電対の短絡電流を利用して温度差を検出する電流検出型熱電対の校正方法において、検出用熱電対と同一の熱電対材料で形成した校正用熱電対を用い、加熱手段により校正用熱電対の温接点と冷接点となる二つの接合部間に任意の温度差△Trを発生させて、この前記温度差△Trを測定して、そのときの校正用熱電対の開放起電力Vrから校正用熱電対の絶対熱電能Eroを求めておくこと、検出用熱電対も同一の絶対熱電能Eroを有すると見做すこと、検出用熱電対を含む系の被測定温度付近における内部抵抗rsを測定すること、検出用熱電対を演算増幅器の反転入力端子に接続し、該演算増幅器の仮想短絡を利用して、検出用熱電対に発生している被測定温度差△Tsによる短絡電流値Isを計測し、上記の校正用熱電対の絶対熱電能Eroと内部抵抗rsを使用して被測定温度差△Tsを求めるようにしたこと、を特徴とする電流検出型熱電対の校正方法。
IPC (5):
G01K 15/00 ,  G01K 7/02 ,  G01J 1/02 ,  H01L 35/28 ,  H01L 35/32
FI (7):
G01K15/00 ,  G01K7/02 L ,  G01K7/02 A ,  G01J1/02 C ,  G01J1/02 Q ,  H01L35/28 C ,  H01L35/32 A
F-Term (11):
2F056KA03 ,  2F056KA05 ,  2F056KA12 ,  2F056KA16 ,  2F056KL03 ,  2F056KL06 ,  2F056XA05 ,  2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA34
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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