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J-GLOBAL ID：200903022401596886
蒸着源及び蒸着装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (2)：
石島 茂男 (外1名)
, 工業技術院大阪工業技術研究所長 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998082701
Publication number (International publication number)：1999256314
Application date： Mar. 13, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：
【要約】【課題】大面積の基板に、膜厚のばらつきが少ない薄膜を形成する。【解決手段】本発明の蒸着装置10では、蒸着源50が、筒状のアノード部54に囲まれた領域内に複数のカソード部51〜53が設けられている。各カソード部51〜53は、カソード電極51a〜51cをそれぞれ有しており、各カソード電極51a〜53c先端には、蒸着材料がそれぞれ固定されている。アーク放電を誘起した場合、各蒸着材料から荷電微小粒子が放出されるので、基板3表面に形成される薄膜の面内ばらつきが低減される。また、飛散する液滴粒子の一部が隣接する他のカソード電極に再付着し、再利用されるので、蒸着材料の消耗が少なく、寿命が長くなる。
Claim (excerpt)：
カソード電極と、前記カソード電極の先端に設けられた蒸着材料と密着して設けられた絶縁物と、前記蒸着材料とは非接触の状態で前記絶縁物に密着配置されたトリガ電極とを具備するカソード部と、少なくともアノード電極を具備し、前記蒸着材料近傍に配置された筒状のアノード部とを有し、前記アノード電極と前記カソード電極との間に電圧を印加した状態で、前記トリガ電極に電圧を印加すると、該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記蒸着材料と前記アノード電極との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成粒子を放出させるように構成された蒸着源であって、前記カソード部が、前記アノード部に囲まれた領域内に複数設けられたことを特徴とする蒸着源。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 14/24 F
, H01L 21/203 Z
Cited by examiner (11)
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