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J-GLOBAL ID：200903022477307689

液晶表示素子の製造装置

Inventor： 谷 功 ,  久米 聡
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社 ,  旭硝子株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994133077
Publication number (International publication number)：1996002944
Application date： Jun. 15, 1994
Publication date： Jan. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ガラス基板に帯電する電荷を過不足なく中和して除電する。【構成】 プレート2上にガラス基板1を載置し、ガラス基板1をプレート2上に吸着せしめる。前記時間プログラムに従い所定時間加熱後、CPU5からの指令によりプレート2内に埋設されていたピン3,3,...をプレート2面から突出させることによりガラス基板1をプレート2から剥離する。このとき、CPU5から制御部6にイオナイザのONの指令が与えられ、これに基づいて制御部6は所定量のイオンをイオナイザ4,4から出射せしめる。そして、前記時間プログラムからの指示に従い剥離により帯電した電荷が蓄積している期間だけ基板1へイオンを照射後、イオナイザをOFF する。

Claim (excerpt)：

ガラス基板表面に液晶表示素子を形成する際に、イオン供給手段にて前記ガラス基板にイオンを供給し、そのガラス基板に生じる電荷を除去する液晶表示素子の製造装置において、前記ガラス基板に処理を施す処理手段と、該処理の時間的な制御を行う処理時間制御手段と、該処理時間制御手段からの指示に基づいて、前記イオン供給手段のイオンの供給開始及び供給終了を指示するイオン供給指示手段とを備えることを特徴とする液晶表示素子の製造装置。

IPC (2)：

C03C 21/00 ,  G02F 1/13 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-218941
  
• アンローダ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-143851   Applicant：鹿児島日本電気株式会社
• 基板処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-024050   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開昭62-040459