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J-GLOBAL ID：200903022566179554

電気光学サンプリングプローバ

Inventor： 八木 敏之 ,  太田 克志 ,  永妻 忠夫 ,  品川 満 ,  山田 順三
Applicant, Patent owner： 安藤電気株式会社 ,  日本電信電話株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000230058
Publication number (International publication number)：2002043380
Application date： Jul. 28, 2000
Publication date： Feb. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】 電気光学サンプリングプローバの光学系において入射光の挿入損失を最小にすることができる電気光学サンプリングプローバを提供する。【解決手段】 測定対象のICウエハ表面上の配線に接し、この配線を介して電界が印加されて光学特性が変化する電気光学素子と、内部に偏光ビームスプリッタと波長板とフォトダイオードを有し、外部から発せられたレーザ光が電気光学素子内を透過してさらに配線に対向する電気光学素子の表面において反射された光を分離して電気信号に変換する電気光学サンプリング光学系モジュールとを備えた電気光学サンプリングプローバにおいて、電気光学サンプリング光学系モジュールは、該電気光学サンプリング光学系モジュールへ入射するまでに楕円偏光になったレーザ光を直線偏光に戻す1/4波長板と、直線偏光の偏光方向を調整する1/2波長板とを備えたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

測定対象のICウエハ表面上の配線に接し、この配線を介して電界が印加されて光学特性が変化する電気光学素子と、内部に偏光ビームスプリッタと波長板とフォトダイオードを有し、外部から発せられたレーザ光が前記電気光学素子内を透過してさらに前記配線に対向する前記電気光学素子の表面において反射された光を分離して電気信号に変換する電気光学サンプリング光学系モジュールと、を備えた電気光学サンプリングプローバにおいて、前記電気光学サンプリング光学系モジュールは、該電気光学サンプリング光学系モジュールへ入射するまでに楕円偏光になった前記レーザ光を直線偏光に戻す1/4波長板と、直線偏光の偏光方向を調整する1/2波長板と、を備えたことを特徴とする電気光学サンプリングプローバ。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/302

FI (3)：

H01L 21/66 C ,  G01R 1/06 F ,  G01R 31/28 L

F-Term (15)：

2G011AA01 ,  2G011AD02 ,  2G011AE03 ,  2G032AA00 ,  2G032AF07 ,  4M106BA05 ,  4M106BA14 ,  4M106CA17 ,  4M106DE08 ,  4M106DE22 ,  4M106DE24 ,  4M106DH32 ,  4M106DH39 ,  4M106DH40 ,  4M106DJ19

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 電気信号測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-198360   Applicant：日本電信電話株式会社
• 発光モジュール組立装置及び組立方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-285174   Applicant：富士通株式会社