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J-GLOBAL ID：200903022566195290

探針およびその製造方法

Inventor： 白川部 喜春 ,  清水 信宏 ,  高橋 寛
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998113806
Publication number (International publication number)：1999304824
Application date： Apr. 23, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】 カンチレバーの先端部に設けられる探針をハイアスペクト比から成る細長い形状に形成して、被測定面の凹凸に対する正確なトレースを可能とし、真の形状に近い観察像を得ることができるようにすること。【解決手段】 基板上に略円形のエッチングマスクを形成する工程と、基板に対して等方性エッチングを行って、エッチングマスクの直下をなだらかに削り取り、円錐状の突起を形成し、エッチングマスクを用いて基板に対して異方性エッチングを行い、エッチングマスクの下の基板を円筒状に削り出し、形成された円錐形状の下に円筒形状が続く突起を形成することによって、探針12を形成する。

Claim (excerpt)：

試料表面の微細形状を検出するカンチレバーの先端部に突設配置される探針であって、その形状が前記カンチレバーに配設された裾野部の径に対して、該配設位置から先端部までの高さが少なくとも2倍以上あるアスペクト比を有していることを特徴とする探針。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 微細針状構造の加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-155242   Applicant：株式会社荏原製作所
• 原子間力顕微鏡用プローブ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-241470   Applicant：株式会社ニコン