積層体

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994289023
Publication number (International publication number)：1996127863
Application date： Oct. 28, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】耐摩耗性を向上させた多層膜の積層体を提供する。【構成】周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Si、およびBから選択される1種以上の元素(第1元素)と;B、C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第2元素)とを主成分とし、互いに異なる組成を有する少なくとも2種の化合物層と;該化合物層間に配置され、厚さ方向に前記第1元素の組成(at%)が変化する組成変調層とを含み;該化合物層と組成変調層とが周期的に積層されてなり;且つ、上記各層間で1周期以上連続した結晶格子を有する積層体。

Claim (excerpt)：

周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Si、およびBから選択される1種以上の元素(第1元素)と;B、C、N、およびOから選択される1種以上の元素(第2元素)とを主成分とし、互いに異なる組成を有する少なくとも2種の化合物層と、該化合物層間に配置され、厚さ方向に元素の組成(at%)が変化する組成変調層とを含み、該化合物層と組成変調層とが周期的に積層されてなり、且つ、上記各層間で1周期以上連続した結晶格子を有することを特徴とする積層体。

IPC (2)：

C23C 14/06 , B23B 27/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特公昭59-021387
表面被覆硬質部材及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-012828 Applicant：住友電気工業株式会社
特開平3-120352

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