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J-GLOBAL ID：200903022705257310

離形フィルム

Inventor：
小山 俊也

About 小山 俊也


Applicant, Patent owner：
帝人株式会社

About 帝人株式会社


Agent (1)： 前田 純博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996262898
Publication number (International publication number)：1998100355
Application date： Oct. 03, 1996
Publication date： Apr. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】 離形層中の不純物が少なくかつフィルム中の不純物が離形層表面に移行するのが抑制された、シリコーンウエハー製造用途粘着剤の保護フィルムに有用な離形フィルムを提供する。【解決手段】 ポリエチレン-2,6-ナフタレートフィルムの少なくとも片面に、テトラエトキシシランの加水分解物を0.02〜2μmの厚さで塗工しさらにその上に残留接着率が95%以上のシリコーン離形層を設けてなる離形フィルム。
Claim (excerpt)：
ポリエチレン-2,6-ナフタレートフィルムの少なくとも片面にSi(OC2H5)4の硬化物を0.02〜2μmの厚さで塗工しさらにその上に残留接着率が95%以上のシリコーン離形層を設けてなる離形フィルム。
IPC (4)：
B32B 27/36 ,  B32B 27/00 ,  B32B 27/00 101 ,  C08J 7/04 CFD
FI (4)：
B32B 27/36 ,  B32B 27/00 L ,  B32B 27/00 101 ,  C08J 7/04 CFD Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 離形フイルム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-205699   Applicant：帝人株式会社
  • プライマー組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-172653   Applicant：東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社
  • 離型フィルム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-183753   Applicant：東レ株式会社
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