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J-GLOBAL ID：200903022873997922

感放射線性接着剤組成物およびこれを用いたウェハーの加工方法

Inventor：
岩永 伸一郎

About 岩永 伸一郎

, 
太田 克

About 太田 克


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (4)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003190609
Publication number (International publication number)：2005023205
Application date： Jul. 02, 2003
Publication date： Jan. 27, 2005
Summary：
【課題】半導体用ウェハーを加工処理するときに、このウェハーを硬質基板に密着させて十分に保持することができ、かつ加工処理後にこのウェハーを破損、汚染すること無く、硬質基板から容易に剥離することができる接着剤組成物、およびこれを用いたウェハーの加工方法を提供すること。【解決手段】酸により解離することができる基を有する重合体(A1)および/または酸により解離することができる基を有する単量体(A2)と、(B)重合性炭素-炭素二重結合を2個以上有する多官能性ラジカル重合性単量体と、(C)ラジカル重合開始剤と、(D)感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性接着剤組成物であって、この組成物の硬化物が感放射線性酸発生剤から発生する酸により分解され、その分解生成物が気化することにより前記硬化物が発泡するような感放射線性接着剤組成物、およびこの感放射線性接着剤組成物を用いたウェハーの加工方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
(A1)酸により解離することができる基を有する重合体と、(B)重合性炭素-炭素二重結合を2個以上有する多官能性ラジカル重合性単量体と、(C)ラジカル重合開始剤と、(D)感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性接着剤組成物であって、 (i)前記重合体(A1)は、 該感放射線性接着剤組成物に光照射または加熱を施すことにより硬化物(I)を形成した場合に、前記感放射線性酸発生剤(D)から発生する酸によって分解され、しかもこの分解生成物が加熱により気化して前記硬化物(I)を発泡させることができるような構造を有する重合体であり、 (ii)前記多官能性ラジカル重合性単量体(B)は、 前記硬化物(I)に存在する単量体(B)から導かれる構造が、前記感放射線性酸発生剤(D)から発生する酸によって分解されるような単量体であって、 (iii)発泡後の硬化物(I)が溶剤および/またはアルカリ水溶液により溶解可能であることを特徴とする感放射線性接着剤組成物。
IPC (3)：
C09J4/00 ,  C09J5/00 ,  H01L21/304
FI (3)：
C09J4/00 ,  C09J5/00 ,  H01L21/304 622J
F-Term (5)：
4J040DF001 ,  4J040FA132 ,  4J040HD37 ,  4J040KA03 ,  4J040NA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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