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J-GLOBAL ID：200903022969245441

三弗化窒素ガスの除害方法

Inventor： 原田 功 ,  在塚 眞 ,  菰原 定一 ,  橋本 隆
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993310757
Publication number (International publication number)：1995155542
Application date： Dec. 10, 1993
Publication date： Jun. 20, 1995
Summary：

【要約】【構成】 比表面積が1m2/g以上である一種以上の金属をカラムに充填し、該金属を150〜500°Cの温度で加熱し、該カラムに三弗化窒素ガスを有するガスを通気する三弗化窒素ガスの除害方法。【効果】 従来より低い温度でNF3の除害が可能、また、エネルギーコスト面でも効果がある。

Claim (excerpt)：

比表面積が1m2/g以上である一種以上の金属をカラムに充填し、該金属を150〜500°Cの温度で加熱し、該カラムに三弗化窒素ガスを有するガスを通気することを特徴とする三弗化窒素ガスの除害方法。

IPC (3)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/54

FI (3)：

B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 128

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

• 特公昭63-048570
  
• 特公昭63-048571
  
• 特開昭63-012322
  
• 特公平5-023814
  
• フッ化窒素排ガスの除害装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-063939   Applicant：岩谷産業株式会社
• 特公昭63-048570
  
• 特公昭63-048571
  
• 特開昭63-012322
  
• 特公平5-023814