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J-GLOBAL ID：200903023092888628

チューブポンプ

Inventor： 松尾 茂良 ,  大里 仁志
Applicant, Patent owner： 株式会社イワキ
Agent (1)： 伊丹 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005351451
Publication number (International publication number)：2007154767
Application date： Dec. 06, 2005
Publication date： Jun. 21, 2007
Summary：

【課題】吐出量を一定に維持可能なチューブポンプを提供する。【解決手段】筒体内に同軸的に可撓性チューブ12を配置して、この可撓性チューブ12内側をポンプ室、外側を作動流体が充填される作動流体スペース13として構成されるチューブポンプであって、前記作動流体スペースに配置されて前記作動流体の圧力を測定する圧力センサ17と、該圧力センサ17によって計測された前記作動流体スペースの圧力に基づき前記移送流体の圧力を制御する圧力制御部2とを備え、前記可撓性チューブ12は、径方向の変形応力に対して相対的に変形しやすい部分12aと変形しにくい部分が周方向に複数箇所ずつ交互に形成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

筒体内に同軸的に可撓性チューブを配置して、この可撓性チューブ内側を移送流体が移送されるポンプ室、外側を作動流体が充填される作動流体スペースとして構成されるチューブポンプであって、 前記作動流体スペースに配置されて前記作動流体の圧力を測定する圧力センサと、 該圧力センサによって計測された前記作動流体の圧力に基づき前記移送流体の圧力を制御する圧力制御部と を備えたことを特徴とするチューブポンプ。

IPC (1)：

F04B 43/12

FI (2)：

F04B43/12 C ,  F04B43/12 J

F-Term (14)：

3H077AA00 ,  3H077BB03 ,  3H077CC04 ,  3H077CC08 ,  3H077DD13 ,  3H077EE01 ,  3H077EE11 ,  3H077EE15 ,  3H077EE34 ,  3H077EE35 ,  3H077FF01 ,  3H077FF07 ,  3H077FF12 ,  3H077FF45

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 処理液供給機構および処理液供給方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-076279   Applicant：東京エレクトロン株式会社