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J-GLOBAL ID：200903023151624109

湿度センサ

Inventor： 李 丞祐 ,  セルギー・オー・コルポシュ
Applicant, Patent owner： 財団法人北九州産業学術推進機構
Agent (1)： 榎本 一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007091555
Publication number (International publication number)：2008249511
Application date： Mar. 30, 2007
Publication date： Oct. 16, 2008
Summary：

【課題】水晶振動子等の固有振動数の変化や共振周波数の変化等を利用した湿度センサに関し、湿度を高感度で検知することができ、またカチオン性高分子とアニオン性高分子の静電気力により有機分子の集合化及び組織化が行われているので、製膜時間が短く、かつ、膜の強度が高く耐久性に優れ、また簡単な操作で製膜して製造できるので、大型の反応器等の装置が不要で、さらに材料を分子レベルで制御するのも容易で品質の安定性に優れるとともに生産性に優れる湿度センサを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の湿度センサは、基板2と、カチオン性高分子膜4とアニオン性高分子膜5が1乃至複数回交互に積層され基板2に形成された交互積層部6と、を備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に形成されたカチオン性高分子膜とアニオン性高分子膜が1乃至複数回交互に積層された交互積層部と、を備えていることを特徴とする湿度センサ。

IPC (1)：

G01N 9/00

FI (1)：

G01N9/00 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

• 特公平5-75256号公報
  
• 特許第2870862号公報
  
• 特許第2759816号公報
  
• 特許第2773292号公報
  
• 水晶振動子湿度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-079353   Applicant：エヌオーケー株式会社
• 特許第2969264号公報
  

Cited by examiner (6)

• 特開昭57-190258
  
• センサ用フィルター、センサカバー、センサおよびフィルター膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-278192   Applicant：ティーディーケイ株式会社
• 高分子湿度センサーおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-221985   Applicant：ティーディーケイ株式会社
• 湿度センサ素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-225161   Applicant：株式会社リケン
• 水晶振動子湿度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-079353   Applicant：エヌオーケー株式会社
• 特開昭63-269051