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J-GLOBAL ID：200903023193550628
プラズマディスプレイパネルの製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004109816
Publication number (International publication number)：2004319474
Application date： Apr. 02, 2004
Publication date： Nov. 11, 2004
Summary：
【課題】プラズマディスプレイパネルの基板への成膜において、基板の非成膜面に成膜材料が付着することを抑制し、良質な画像表示が可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を実現することを目的とする。【解決手段】プラズマディスプレイパネルの基板13への成膜を、基板保持具1に保持して行うプラズマディスプレイパネルの製造方法において、基板保持具1は、枠体2を複数配列して構成し、この枠体2の少なくとも一つによりプラズマディスプレイパネルの基板13をその周縁部で保持し、且つ基板13を保持した枠体2には、保持した基板の非成膜面側13bへ突出して基板13を包囲する突出部5を設ける。 突出部5が遮蔽板として作用するので、基板保持具1の開口部4を通過した成膜材料が基板13の非成膜面13bに廻り込んで付着してしまうという課題が抑制される。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
プラズマディスプレイパネルの基板への成膜を、基板保持具に保持して行うプラズマディスプレイパネルの製造方法において、前記基板保持具は、枠体を複数配列して構成し、前記枠体の少なくとも一つにより前記基板をその周縁部で保持し、且つ前記基板を保持した枠体には、保持した前記基板の非成膜面側へ突出して前記基板を包囲する突出部を設けたことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (9)：
4K029CA01
, 4K029CA03
, 4K029DA01
, 4K029JA01
, 4K029JA06
, 5C027AA07
, 5C040GE09
, 5C040JA07
, 5C040MA23
Cited by examiner (7)
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