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J-GLOBAL ID：200903023276259933

インクジェット記録ヘッドの製造方法

Inventor： 宮下 悟
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993088875
Publication number (International publication number)：1994297720
Application date： Apr. 15, 1993
Publication date： Oct. 25, 1994
Summary：

【要約】【構成】 振動板上に形成される圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造において、振動板表面に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、焼成してジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることにより高特性とする。【効果】 700°C以上の高温でアニールを行なっても、鉛の拡散が防止でき、高い圧電ひずみ定数と高いヤング率を持つ圧電体薄膜素子を備えたインクジェット記録ヘッドを提供できた。

Claim (excerpt)：

振動板上に形成される圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造方法において、振動板表面に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、焼成してジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (4)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C04B 41/87

FI (2)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-024275
  
• 圧電/電歪膜型素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-203831   Applicant：日本碍子株式会社