Pat

J-GLOBAL ID：200903023489581880

液晶表示装置の製造方法

Inventor： 朴 庸碩 ,  孫 鍾禹
Applicant, Patent owner： エルジー電子株式会社
Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997143793
Publication number (International publication number)：1998062818
Application date： Jun. 02, 1997
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 製造工程を複雑にすることなく、薄膜を積層する構造で発生するステップカバレッジを改善して信号線の断線を防ぐことが可能な液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】 金属層上に露光機の解象度より小さいスペース幅のラインアンドスペースパターン150を有するマスクを使用してフォトレジストパターンを形成する。このパターンを使用するとフォトレジストパターンの端部の厚みが様々になる。これにより、金属層をエッチングしてソース及びドレイン電極を形成したときの金属層の端部は、緩やかな曲線と緩やかなテーパ形状となる。従って、積層部分での良好なステップカバレッジが得られて、配線不良の問題点を解決することができる。

Claim (excerpt)：

基板上に第1金属層を形成する第1の工程と、前記第1金属層上にフォトレジストを塗布する第2の工程と、露光機の解象度より小さいスペース幅のラインアンドスペースパターンを有するマスクを使用して前記第1金属層上にフォトレジストパターンを形成する第3の工程と、前記フォトレジストパターンに対応する前記第1金属層を形成するために、前記フォトレジストを使用して前記第1金属層をパターニングする第4の工程とを備えた液晶表示装置の製造方法。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343

FI (2)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 表示装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-169901   Applicant：シャープ株式会社
• 減衰型位相シフトマスクおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-066934   Applicant：三菱電機株式会社
• 特開平4-120538
  
• 特開平4-218046