電子線照射装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川瀬茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998142873
Publication number (International publication number)：1999337700
Application date： May. 25, 1998
Publication date： Dec. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】粒状物の表面処理のために電子線を当てる場合、無端周回コンベヤに載せて搬送すると片側の面にしか電子線が当たらない。陰になった側は電子線を受けず未処理のまま電子線照射装置を通過してしまう。粒状物の表面の全体に電子線が当たるようにすることが目的である。【解決手段】搬送手段として水冷された振動コンベヤを用いる。

Claim (excerpt)：

被処理物を搬送する機構を収容するべき筐体と、筐体の一部に設けられ真空中において電子線を発生する電子線発生装置と、筐体と電子線発生装置の境界にあって窓箔を設けた照射窓と、筐体の内部にあって被処理物を載せて振動によって搬送する振動コンベヤと、振動コンベヤの下側に設けられる冷却機構とを含む事を特徴とする電子線照射装置。

IPC (2)：

G21K 5/10 , G21K 5/04

FI (2)：

G21K 5/10 C , G21K 5/04 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭57-161600
特開平1-300953
特開昭63-263075

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