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J-GLOBAL ID：200903023671933724

ダイヤモンド様薄膜保護膜を有する物品

Inventor： 中山 正俊 ,  柴原 正典
Applicant, Patent owner： テイーデイーケイ株式会社
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991311487
Publication number (International publication number)：1993124875
Application date： Oct. 31, 1991
Publication date： May. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ダイヤモンド様薄膜保護膜を強固に結合した物品を得ること。【構成】 ダイヤモンド様薄膜との親和性が悪い基体の表面に、けい素と炭素の非晶質混合物からなる中間層を設け、その上にダイヤモンド様薄膜を形成する。【効果】 ダイヤモンド様薄膜保護膜の物品への結合が強固になる。

Claim (excerpt)：

Co、Ni、Feの少なくとも一種を含む合金、セラミックス及びガラスよりなる群より選択され且つダイヤモンド様薄膜との親和性が悪い基体の表面に、けい素と炭素の非晶質混合物からなる中間層と、ダイヤモンド様薄膜を順に形成した保護膜を有する物品。

IPC (2)：

C04B 37/00 ,  C01B 33/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭63-286576
  
• 特開昭63-140083
  
• 特開平3-146666
  
• 特開昭56-065142
  
• 薄膜形成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-217601   Applicant：株式会社島津製作所