研磨方法並びに磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤村康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000298918
Publication number (International publication number)：2001162510
Application date： Sep. 29, 2000
Publication date： Jun. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】ガラス基板等の内周端面及び外周端面の表面状態を低コストで効率よく高いレベルで平滑にでき、その結果、基板表面の高清浄化を高いレベルで達成磁気記録媒体用ガラス基板ガラス基板等を提供する。【解決手段】円板状の基板の端面に、遊離砥粒を含有した研磨液を接触させた状態で、研磨ブラシ又は研磨パッドを回転接触させて基板の端面を研磨する研磨方法であって、複数枚の基板1を該基板の主表面方向に例えばスペーサ6等を介して離間して積層して研磨を行うことを特徴とする研磨方法。

Claim (excerpt)：

円板状の基板の端面に、研磨ブラシ又は研磨パッドを回転接触させて基板の端面を研磨する研磨方法であって、複数枚の基板を該基板の主表面方向に離間して積層した状態で研磨を行うことを特徴とする研磨方法。

IPC (4)：

B24B 29/04 , C03C 19/00 , G11B 5/73 , G11B 5/84

FI (4)：

B24B 29/04 , C03C 19/00 Z , G11B 5/73 , G11B 5/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

磁気記録媒体用ガラス基板、磁気記録媒体、及びそれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-281445 Applicant：ホーヤ株式会社
ブラシ研磨用保持具及びそれを用いたブラシ研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-062338 Applicant：ホーヤ株式会社
ワックス砥石およびガラス基板の端面研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-056879 Applicant：大同特殊鋼株式会社

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