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J-GLOBAL ID：200903024008447219

感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法

Inventor： 津島 宏 ,  三上 滋 ,  渡辺 英美 ,  今村 毅 ,  住吉 岩夫
Applicant, Patent owner： 日本ペイント株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996010854
Publication number (International publication number)：1996262728
Application date： Jan. 25, 1996
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【課題】 露光時間を短縮し、カラーフィルターなどの生産性を上げること。【解決手段】 a)有機溶剤に可溶である、重量平均分子量10000以上のポリシラン、b)光ラジカル発生剤および酸化剤、c)シリコーンオイル、およびd)有機溶剤を含む感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法。

Claim (excerpt)：

a)有機溶剤に可溶である、重量平均分子量10000以上のポリシランb)光ラジカル発生剤および酸化剤c)式:【化1】[式中、R1、R2、R3、R4、R5およびR6は、炭素数1〜10のハロゲンまたはグリシジル基で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基、炭素数6〜12のハロゲンで置換されていてもよい芳香族炭化水素基、炭素数1〜8のアルコキシ基からなる群から選択される基であり、同一でも異なっていてもよい。mおよびnは整数であり、m+n≧1を満たすものである。]で示される構造のシリコーンオイルd)有機溶剤を含む感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/075 511 ,  C25D 13/00 310 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/26 521

FI (6)：

G03F 7/075 511 ,  C25D 13/00 310 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/26 521