ケミカルフィルタ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金本哲男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996052427
Publication number (International publication number)：1997220425
Application date： Feb. 15, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】自身からの発塵がないケミカルフィルタを提供する。【解決手段】本発明によれば、気流中のガス状不純物を除去する吸着濾材(102)と、その吸着濾材を収納するケーシング(104)とを備えたケミカルフィルタ(100)において、吸着濾材の下流側に、少なくとも前記吸着濾材から発生する微粒子を捕捉できるとともに、ガス状不純物を発生しない素材から成るフィルタ濾材(108)を設置しているので、ケミカルフィルタ自身が発塵源とならない。

Claim (excerpt)：

気流中のガス状不純物を除去する吸着濾材と、その吸着濾材を収納するケーシングとを備えたケミカルフィルタにおいて、前記吸着濾材の下流側に、少なくとも前記吸着濾材から発生する微粒子を捕捉できるとともにガス状不純物を発生しない素材から成るフィルタ濾材を設置したことを特徴とする、ケミカルフィルタ。

IPC (3)：

B01D 46/30 , B01D 39/14 , B01D 53/04

FI (3)：

B01D 46/30 B , B01D 39/14 A , B01D 53/04 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

エアーフィルタ及びエアーフィルタ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-283616 Applicant：ニッタ株式会社
半導体製造用エアフイルタ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-086046 Applicant：東京エレクトロン株式会社
特開平3-202146

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