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J-GLOBAL ID：200903024230639266

圧電アクチュエータとその製造方法

Inventor： 大久保 慎
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996349029
Publication number (International publication number)：1998181013
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】良好なアクチュエータの駆動特性を実現しつつ、発生応力を低く抑えることを可能とし、信頼性の高いアクチュエータを得る。【解決手段】基板1上に、電極を有する圧電素子2を備えてなる圧電アクチュエータ10において、上記圧電素子2と基板1との接合部の側面に、曲率半径0.5〜80μmの凹曲面部7を形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に、電極を有する圧電素子を備えてなる圧電アクチュエータにおいて、上記圧電素子と基板との境界部に、曲率半径0.5〜80μmの凹曲面部を形成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (4)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (3)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• インク噴射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-014541   Applicant：ブラザー工業株式会社