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J-GLOBAL ID：200903024385657449

マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法

Inventor：
金 錫▲ヒョン▼

About 金 錫▲ヒョン▼

, 
徳永 謙二

About 徳永 謙二


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体先端テクノロジーズ

About 株式会社半導体先端テクノロジーズ


Agent (1)： 高田 守 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001172953
Publication number (International publication number)：2002362737
Application date： Jun. 07, 2001
Publication date： Dec. 18, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 複数のマスク収納容器を、マスク貯蔵装置及び・又は複数の基板処理装置に搬送し、マスク収納容器を載置する載置台の方向に合わせて載置する。【解決手段】 マスク貯蔵装置16及び・または複数の基板処理装置の間に敷設された軌道レール13に、パターン転写用マスクを収納するためのマスク収納容器14を複数把持した一台の台車1を接続して搬送するマスク搬送方法において、台車1の移動時には、複数のマスク収納容器14の配列が、軌道レール13の敷設方向に沿う状態にし、台車1が所定位置に来たときに停止させ、複数のマスク収納容器14の配列が、このマスク収納容器14の載置台の配置に沿う状態に台車1を回転させ、載置台にマスク収納容器14を載置できるようにする。
Claim (excerpt)：
パターン転写用マスクをマスク貯蔵装置及び・又は基板処理装置に搬送するために敷設された軌道レールに、可動に接続され、前記軌道レールを辿って動くことができ、かつ、前記軌道レールに接続される部分を軸としてほぼ水平に回転することができる台車と、パターン転写用マスクを収納することができるマスク収納容器を複数把持するため前記台車に備えられた把持具と、を含むことを特徴とするマスク搬送装置。
IPC (4)：
B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (4)：
B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 L ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J
F-Term (22)：
5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031DA12 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA15 ,  5F031GA12 ,  5F031GA19 ,  5F031GA36 ,  5F031GA58 ,  5F031JA49 ,  5F031MA06 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F046AA21 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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