研磨用粒子および研磨材

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田政久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001331748
Publication number (International publication number)：2003133267
Application date： Oct. 30, 2001
Publication date： May. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】ディッシング(過研磨)を抑制し、基板表面を平坦に研磨することができる。【解決手段】異形粒子群とは、1次粒子が集合して球状となったり、または凝集して塊状となった通常の形態の粒子群ではなく、2個以上の1次粒子が結合して鎖状、繊維状、その他、異形の形態にある粒子群をいう。即ち、異形粒子群1個が平面(被研磨基板)と2点以上の点で接触できるか、線または面で接触できる粒子群を意味している。この異形粒子群における1次粒子の結合態様として、図示したように、1次粒子が2個接合したもの、3個以上鎖状に接合したもの、3個が3点で接合したもの、4個が平面的にあるいはテトラポット型に接合したもの、同様に5個以上の粒子が接合したものを挙げることができる。

Claim (excerpt)：

平均粒子径が5〜300nmの範囲にある1次粒子が2個以上結合した異形粒子群を含むことを特徴とする研磨用粒子。

IPC (3)：

H01L 21/304 622 , B24B 37/00 , C09K 3/14 550

FI (3)：

H01L 21/304 622 D , B24B 37/00 H , C09K 3/14 550 D

F-Term (4)：

3C058AA07 , 3C058CB01 , 3C058DA02 , 3C058DA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

研磨用組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-188562 Applicant：日産化学工業株式会社
繭型コロイダルシリカの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-227066 Applicant：磯守

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