垂直針型プローブカードおよびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：深見久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997288355
Publication number (International publication number)：1999125645
Application date： Oct. 21, 1997
Publication date： May. 11, 1999
Summary：

【要約】【課題】プローブ針の高さ方向のばらつきがある程度大きくても、必要な針圧が得られるように改良された垂直針型プローブカードを提供することを主要な目的とする。【解決手段】プローブ針4の上方部分4aが上側ガイド板5により支持されている。プローブ針4の下方部分4cは、下側ガイド板6によって支持されている。プローブ針4の上方部分4aは、L字型に折曲げられている。上側ガイド板5の上にプリント配線基板7が設けられている。

Claim (excerpt)：

プローブ針の下方部分をICのパッドに垂直にコンタクトさせ、ICからの電気信号をテスターに伝達させる垂直針型プローブカードであって、上方部分と前記下方部分と、これらを結ぶ中間部分とを含み、前記上方部分は、垂直部分と水平部分を有するようにL字型に折曲げられている、プローブ針と、前記プローブ針の前記上方部分を貫通させて、該上方部分を支持する上側ガイド板と、前記上側ガイド板の下に設けられ、前記プローブ針の前記下方部分を貫通させて、該下方部分を支持する下側ガイド板と、前記上側ガイド板の上に、設けられたプリント配線基板と、を備えた垂直針型プローブカード。

IPC (2)：

G01R 1/073 , H01L 21/66

FI (2)：

G01R 1/073 E , H01L 21/66 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

縦型プローブカード及びこれに用いるプローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-051053 Applicant：日本電子材料株式会社
特開平3-209174
垂直作動式プローブカード
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-195892 Applicant：日本電子材料株式会社

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