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J-GLOBAL ID:200903024476545392

特殊ガス除去用除害剤及び特殊ガスの除去方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 木戸 一彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002151943
Publication number (International publication number):2003071290
Application date: May. 27, 2002
Publication date: Mar. 11, 2003
Summary:
【要約】【課題】 乾式除害剤における水分の影響を抑制し、水分と共存する特殊ガス、特に、水分を多く含む大気中に漏洩した低濃度の特殊ガスも確実に除去処理することができる特殊ガス除去用除害剤及び特殊ガスの除去方法を提供する。【解決手段】 マンガン酸化物を主成分とし、金、白金、銀、パラジウム、ロジウムの内の少なくとも一種の金属単体又はこれらの金属化合物を、前記マンガン酸化物に対して0.1〜10重量%添加した除害剤である。この除害剤は、特殊ガスと水分とを含んだ処理対象ガス中の前記特殊ガスを除去するときにも、水分の影響を受けずに特殊ガスを除去することができる。
Claim (excerpt):
マンガン酸化物を主成分とし、金、白金、銀、パラジウム、ロジウムの内の少なくとも一種の金属単体又はこれらの金属化合物を、前記マンガン酸化物に対して0.1〜10重量%添加したことを特徴とする特殊ガス除去用除害剤。
IPC (8):
B01J 23/68 ,  B01D 53/46 ,  B01D 53/86 ,  B01J 20/06 ZAB ,  B01J 23/42 ,  B01J 23/44 ,  B01J 23/46 311 ,  H01L 21/205
FI (8):
B01J 23/68 A ,  B01J 20/06 ZAB C ,  B01J 23/42 A ,  B01J 23/44 A ,  B01J 23/46 311 A ,  H01L 21/205 ,  B01D 53/34 120 A ,  B01D 53/36 Z
F-Term (55):
4D002AA18 ,  4D002AA22 ,  4D002AA26 ,  4D002AA27 ,  4D002AA28 ,  4D002AC10 ,  4D002BA03 ,  4D002DA11 ,  4D002DA24 ,  4D002DA25 ,  4D002GA01 ,  4D002GB08 ,  4D048AA11 ,  4D048AA30 ,  4D048BA28X ,  4D048BA30X ,  4D048BA31X ,  4D048BA33X ,  4D048BA34X ,  4D048BA41X ,  4D048BC01 ,  4D048EA04 ,  4G066AA02B ,  4G066AA15B ,  4G066AA26B ,  4G066AA28B ,  4G066CA21 ,  4G066CA31 ,  4G066CA32 ,  4G066CA41 ,  4G069AA03 ,  4G069BB02A ,  4G069BB02B ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BC32A ,  4G069BC32B ,  4G069BC33A ,  4G069BC33B ,  4G069BC62A ,  4G069BC62B ,  4G069BC71A ,  4G069BC71B ,  4G069BC72A ,  4G069BC72B ,  4G069BC75A ,  4G069BC75B ,  4G069CA11 ,  4G069CA19 ,  4G069FC08 ,  5F045AC01 ,  5F045AC02 ,  5F045AC05 ,  5F045BB20 ,  5F045EG08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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