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J-GLOBAL ID:200903024612592537
光学系における収差の能動補償のための装置、システム、および方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山本 秀策
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2001579009
Publication number (International publication number):2003532138
Application date: Apr. 24, 2001
Publication date: Oct. 28, 2003
Summary:
【要約】光学系の収差の能動補償が、第1および第2のフォースバーをミラーに取り付ける工程を伴う。第1のフォースバーは、長手方向の中間点に開口部を形成するために二股に分けられる。この開口部は、第1および第2の対向面を規定する。第2のフォースバーは、第1のフォースバーと直交し、第1のフォースバーの開口部を通って延びており、第2のフォースバーの中間部分が第1のフォースバーの開口部に配置される。第2のフォースバーは、アクチュエータにより第1の対向面に接続される。アクチュエータの長手方向の運動により、ミラーの変位が生じる。支持構造体を用いて、フォースバーおよびアクチュエータの重量を支持する。フォースバーは、たわみ部により支持構造体に接続される。制御モジュールは、感知モジュールから情報を受信し、アクチュエータを制御する。2より多くのフォースバーを用い、光学系のいずれの収差も補償することもまた可能である。
Claim (excerpt):
光学系における収差の能動補償のための装置であって、 ミラーの第1の部分および第2の部分への取り付けのために構成された少なくとも2つの端部を有する第1のフォースバーと、 該ミラーの第3の部分および第4の部分への取り付けのために構成された少なくとも2つの端部を有する第2のフォースバーと、 少なくとも1つのアクチュエータであって、該アクチュエータの各々が該第1のフォースバーに接続された第1の端部、および該第2のフォースバーに接続された第2の端部を有し、該第1のフォースバーと該第2のフォースバーとの間での該アクチュエータの長手方向の運動により、力が該ミラーに加えられる、アクチュエータとを備えた装置。
IPC (5):
G02B 26/08
, G02B 7/198
, G02B 27/18
, G03F 7/22
, H01L 21/027
FI (6):
G02B 26/08 J
, G02B 27/18 Z
, G03F 7/22 H
, G02B 7/18 B
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 516 A
F-Term (13):
2H041AA12
, 2H041AB38
, 2H041AC02
, 2H041AZ01
, 2H043BC01
, 5F046BA04
, 5F046CB02
, 5F046CB03
, 5F046CB11
, 5F046CB12
, 5F046CB20
, 5F046CB26
, 5F046DA13
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
-
車両のミラー装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-301612
Applicant:佐合則夫
-
適応性鏡を有する反射屈折投映対物レンズ及び投映照明法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-146916
Applicant:カール-ツアイス-スチフツング
-
特表昭62-501620
Cited by examiner (3)
-
車両のミラー装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-301612
Applicant:佐合則夫
-
適応性鏡を有する反射屈折投映対物レンズ及び投映照明法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-146916
Applicant:カール-ツアイス-スチフツング
-
特表昭62-501620
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