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J-GLOBAL ID：200903024612592537

光学系における収差の能動補償のための装置、システム、および方法

Inventor：
ミーハン, マイケル エフ.

About ミーハン, マイケル エフ.

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トーブ, デイビッド ジー.

About トーブ, デイビッド ジー.

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イヴァルディ, ジョージ エス.

About イヴァルディ, ジョージ エス.


Applicant, Patent owner：
エーエスエムエル ユーエス,インコーポレイテッド

About エーエスエムエル ユーエス,インコーポレイテッド


Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001579009
Publication number (International publication number)：2003532138
Application date： Apr. 24, 2001
Publication date： Oct. 28, 2003
Summary：
【要約】光学系の収差の能動補償が、第1および第2のフォースバーをミラーに取り付ける工程を伴う。第1のフォースバーは、長手方向の中間点に開口部を形成するために二股に分けられる。この開口部は、第1および第2の対向面を規定する。第2のフォースバーは、第1のフォースバーと直交し、第1のフォースバーの開口部を通って延びており、第2のフォースバーの中間部分が第1のフォースバーの開口部に配置される。第2のフォースバーは、アクチュエータにより第1の対向面に接続される。アクチュエータの長手方向の運動により、ミラーの変位が生じる。支持構造体を用いて、フォースバーおよびアクチュエータの重量を支持する。フォースバーは、たわみ部により支持構造体に接続される。制御モジュールは、感知モジュールから情報を受信し、アクチュエータを制御する。2より多くのフォースバーを用い、光学系のいずれの収差も補償することもまた可能である。
Claim (excerpt)：
光学系における収差の能動補償のための装置であって、 ミラーの第1の部分および第2の部分への取り付けのために構成された少なくとも2つの端部を有する第1のフォースバーと、 該ミラーの第3の部分および第4の部分への取り付けのために構成された少なくとも2つの端部を有する第2のフォースバーと、 少なくとも1つのアクチュエータであって、該アクチュエータの各々が該第1のフォースバーに接続された第1の端部、および該第2のフォースバーに接続された第2の端部を有し、該第1のフォースバーと該第2のフォースバーとの間での該アクチュエータの長手方向の運動により、力が該ミラーに加えられる、アクチュエータとを備えた装置。
IPC (5)：
G02B 26/08 ,  G02B 7/198 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027
FI (6)：
G02B 26/08 J ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/22 H ,  G02B 7/18 B ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A
F-Term (13)：
2H041AA12 ,  2H041AB38 ,  2H041AC02 ,  2H041AZ01 ,  2H043BC01 ,  5F046BA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB11 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20 ,  5F046CB26 ,  5F046DA13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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